微电子科学与工程专业实验室，拥有磁控溅射仪、双面对准掩模光刻机、电子束光学镀膜机、紫外分光光度计、霍尔效应测试仪等大型设备，实验室面积850平方米, 在省内高校电子信息类专业中具有显著的优势与特色。半导体工艺实验课程与半导体物理、半导体器件物理、微电子制造原理、先进微电子制造技术、集成电路封装与测试等理论课程紧密结合，培养了学生理论联系实际的工程能力和实践应用能力。依托半导体工艺实验室的辽宁省“半导体发光与光催化材料”和沈阳市“光电功能材料技术”重点实验室已建设多年，不仅成为本专业半导体材料与工艺学科方向的关键教学科研平台，也是物理学院学科建设和学校振兴理工科计划的重要组成部分。